直線電機(jī)平臺-高精度大理石XY結(jié)構(gòu)直線電機(jī)平臺
更新時間:2024/03/13

更新時間:2024/03/13

高精度大理石XY結(jié)構(gòu)直線電機(jī)平臺
GLMT-XY 系列(超高精度直線電機(jī)平臺)
· 直線電機(jī)雙驅(qū),250*250mm或360*360mm行程,大理石底座固定,非常平穩(wěn)定
· 高平面度,高精度
· 連續(xù)運(yùn)動平滑,工業(yè)級別使用壽命
· 性價比高,國內(nèi)生產(chǎn),使用ACS控制系列
· 適用于半導(dǎo)體加工,晶圓檢測等光學(xué)設(shè)備
技術(shù)指標(biāo)
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